设备特点:
1.四轨道设计,可调节宽度,可容纳40-84mm的料条,适应性强。
2.特制的不锈钢阴极轨道和防卡料结构设计,提供稳定安全的运行环境。
3.采用成熟稳定的软件控制系统,保证设备稳定顺畅运行,提升工作效率。
4.电浆直接打在基板上,电浆浓度均匀,清洗效果佳。
5.设备具备广泛的制程参数调节范围,具备灵活的生产能力。
项目 | 内容 |
设备尺寸 | 1920*1320*1820mm(长*宽*高) |
射频电源 | RF1000W,13.56MHz |
真空腔体 | 不锈钢 |
真空管路 | 不锈钢管路 |
工艺气体 | Ar、O2可选 |
控制系统 | PC |
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