在线式等离子清洗设备

在线式等离子清洗设备

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设备特点:

1.四轨道设计,可调节宽度,可容纳40-84mm的料条,适应性强。

2.特制的不锈钢阴极轨道和防卡料结构设计,提供稳定安全的运行环境。

3.采用成熟稳定的软件控制系统,保证设备稳定顺畅运行,提升工作效率。

4.电浆直接打在基板上,电浆浓度均匀,清洗效果佳。

5.设备具备广泛的制程参数调节范围,具备灵活的生产能力。


规格参数

规格参数

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项目内容
设备尺寸1920*1320*1820mm(长*宽*高)
射频电源RF1000W,13.56MHz
真空腔体不锈钢
真空管路不锈钢管路
工艺气体Ar、O2可选
控制系统PC


焊线前等离子体清洗      通过Plasma pre-wire bonding 可以显著增强Compound 与 Substrate的附着力。
无等离子清洗:结合性不佳,轻易脱落

无等离子清洗:结合性不佳,轻易脱落

行业应用

行业应用

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95 mm 陶瓷三轨电极

63.4 mm 陶瓷四轨电极

六轨BGA 电极(33.6 mm)

三轨BGA 电极(76.3 mm)

依制程时间越久, WCA越低

针对(三轨)电极每个位置量测其均匀性比较

四轨L/F 电极(70 mm)

四轨BGA 电极(36.4 mm)

三轨L/F 电极(76.3mm)

更换电极可作业不同产品,且不同位置WCA量测均匀

传真Fax/电话Tel: (+86) 0755-23216715
地址 : 深圳市光明区玉塘街道田寮社区田寮路智衍创新大厦1栋4层
Add: 4/F, Building 1, Zhiyan Innovation Building, Tianliao Road, Tianliao Community, Yutang Street, Guangming District, Shenzhen